设备特点及优势

★精细线路加工专门机型，最小解析能力可达15/15μm，满足mSAP工艺需求

★搭配自主的超级算法的DMD控制系统，成就高解析度高效率加工

★曝光工序全数字化作业，跨入工业4.0智能制造